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集成电路设备上市公司有哪些？
集成电路设备行业概念股票有： 万业企业、北方华创、长川科技。
万业企业（600641）：8月5日收盘消息，万业企业（600641）涨9.98%，报29.19元，成交额15.92亿元。
设立合伙企业的目的是聚焦集成电路设备和材料领域，兼顾半导体产业链上下游企业及其他相关领域，立足上海，面向全国，放眼全球开展投资，推动投资项目落户上海，帮助被投资项目快速成长，获得资本增值，以良好的业绩为合伙人创造价值。公司2021年实现营业收入8.8亿元，同比增长-5.54%；归属于上市公司股东的净利润3.77亿元，同比增长19.42%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润2.33亿元，同比增长-7.28%。
至纯科技（603690）：8月5日消息，至纯科技最新报46.26元，涨7.88%。成交量23.82万手，总市值为147.82亿元。
根据国家统计局发布的2011年《国民经济行业分类》，公司主要产品中包含的专用设备制造业务属于制造业中的“3463气体、液体分离及纯净设备制造”；公司的系统安装属于建筑业中的“4920管道和设备安装”；公司提供的检测、托管等增值服务主要属于科学研究和技术服务业中的“7450质检技术服务。2021年至纯科技实现营业收入20.84亿元，同比增长49.18%；归属于上市公司股东的净利润2.82亿元，同比增长8.12%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润1.62亿元，同比增长46.57%。
中微公司（688012）：8月5日收盘最新消息，中微公司5日内股价上涨13.99%，截至下午三点收盘，该股报147.5元涨8.46% 。
中微总部位于上海，聚焦亚洲，并为全球的客户提供技术和设备的解决方案。中微公司2021年实现营业收入31.08亿元，同比增长36.72%；归属于上市公司股东的净利润10.11亿元，同比增长105.49%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润3.24亿元，同比增长1291.1%。
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